弹性发射加工

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弹性发射加工(elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人射角冲击工件表 2021年1月22日本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装弹性发射光学制造技术研究进展

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2021年10月7日弹性发射加工技术 (Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光技术。基本原理如图1所示，光学元件和弹性变形恢复快的聚氨酯 2021年9月18日 2 弹性发射加工技术材料去除机理弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20 世纪70年代提出的一种原子量级的李佳慧,侯溪,张云,王佳,钟显云弹性发射光学制造技术研究

中国光学（中英文）

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深紫外光刻,极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展,要求超光滑光学元件表面粗糙度达到原子级水平以及表面全频段面形误差达到RMS(Root 2023年6月25日弹性发射加工（EEM）是获得超光滑表面的最有效技术之一。抛光轮将抛光颗粒供给到工件表面的特定位置，与工件发生化学反应，实现材料的无损去除。弹性发射加工材料去除的滚动模型分析,International Journal of

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2021年2月22日分析了弹性发射加工技术面临的问题，展望了未来的发展方向，期望为弹性发射加工技术进一步发展和应用提供一定的参考。关键词：先进光学制造；超精密光学；超光滑加工技术；弹性发射加工技术中图分类号：TG356年11月16日本文针对EEM中的磨粒运动状态及材料去除函数分别进行了仿真分析和实验研究，为基于EEM技术的超光滑表面加工提供了理论依据及技术支持，主要做了以下几方面的工作：（1）搭建了具有压力反馈和在线调整功能的EEM系统实验台，利用实验台对K9玻璃进行了EEM 弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究豆丁网

超精密研磨抛光方法

2016年8月12日弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。其加工原理如图1所示。加工时使用聚氨脂球作加工头，在高速旋转的加工头与被加工工件表面之间加上含有微细借鉴弹性发射加工的去除原理,本文提出了一种新的超光滑表面加工方法——纳米颗粒胶体射流抛光方法。纳米颗粒胶体射流抛光方法将界面化学、流体动力学理论与光学加工方法相结合,提供了一种可以实现原子级去处的加工方法。纳米颗粒胶体射流抛光机理及试验研究百度学术

超精密研磨抛光方法 bearing

2006年5月22日 211 弹性发射加工弹性发射加工是一种可以获得较高的加工精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。其加工原理如图1 所示（图1 略）。加工时使用聚氨脂球作加工头，在高速旋转的加工头与被加工工件表面之间加上 2021年9月18日 2 弹性发射加工技术材料去除机理弹性发射加工技术(Elastic Emission Machining，EEM)是由日本大阪大学的Mori等人在20 世纪70年代提出的一种原子量级的超光滑抛光技术[17]。基本原理如图1所示，光学元件和弹性变形恢复快的聚氨酯抛光工具浸泡在李佳慧,侯溪,张云,王佳,钟显云弹性发射光学制造技术研究

《超精密加工技术》PPT课件百度文库

图13 弹性发射加工原理机理：微切削＋被加工材料的微塑性流动作用一、精细与超精细加工技术 ★ 液体动力抛光工作原理〔图14〕工具运动方向抛光工具抛光工具上开有锯齿槽，抛光液磨粒靠楔形挤压和抛光液的反弹，增加微切削作用。工件2021年7月24日非接触研磨技术是以弹性发射加工（EEM) 的理论为基础的。 EEM方法是利用微细粒子在材料表面上滑动时去除材料的加工。微细粒子以接近水平的角度与材料碰撞，在接近材料表面处产生最大的剪断应力，既不使基体内的位错、缺陷等发生第5章超精密研磨与抛光PPT课件百度文库

弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究百度学术

摘要：随着科学技术的发展,具有超光滑表面质量的光学元件已广泛应用于高精密产品和现代化国防等重要领域,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点,直接影响机械产品的精度和表面质量,本文研究的弹性发射加工技术(Elastic emission machining,简称EEM)具有加工范围广,材料去除稳定,无亚表面损伤等椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的中国光学（中英文）

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弹性发射加工高速流体加工 DOI： CNKI:SUN:ZJYC05 被引量： 1 年份： 1989 收藏引用批量引用报错分享全部来源求助全文国家科技图书文献中心 (权威机构) 维普期刊专业版知网维普网掌桥科研查看更多通过流体动压抛光基于流体剪切效应可实现非接触微去除，可获得粗糙度1 nm以下的超光滑表面，在先进光学及微电子材料加工领域有很好应用前景。基于球体弹性发射加工方式设计流体驱动抛光球，通过Fluent软件对抛光区流场仿真，分析了流体速度以及工件表面压力和剪切力分布，从抛光间隙、工具球光学元件超光滑表面的流体动压抛光特性研究

弹性发射加工技术：一种新型材料的加工技术道客巴巴

2015年2月14日弹性发射加工技术一种新型材料的加工技术加工可以看成是一种物理控制表面形成过程。理想的加工会形成一种几何以及晶体均为完整的表面。这种“完整”如新型电子材料的性能具有极其重要的意义。然而，“完整”表面的加工必须采用分辨率极为精确的原子级加工方式才能完成，通过改造通用 2014年8月13日通过上述研究,方法可以获得纳米级的超光滑表面;考虑多磨粒碰撞的磨粒运动仿真模型更客观地反映了磨粒群在抛光液中的运动规律;磨粒冲击工件壁面的区域主要集中在最间隙的前段位置,在最小间隙处并没有磨粒的冲击作用; 随着加工间隙的减小,磨粒冲击弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究（可编辑）豆丁网

金春水中国科学院大学UCAS SEP 教育业务接入平台

一种用于弹性发射加工的工具轮中国: CNA, [77] 喻波, 姚舜, 金春水基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法中国: CNA, [78] 张海涛, 金春水, 马冬梅, 于杰一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置2010年12月13日弹性发射加工装置（Elastic Emissi on Machining，EEM ）见图2。 Mori和Tsuwa1描述，它是一种新的 “原子级尺寸加工方法” 。 EEM 使用软（在微小压力下很容易发生变形）的聚亚胺酯球作为抛光工具（研磨工具），同时控制旋转轴与加工工件的接触线保超精密研磨技术的原理、应用和优势机床商务网